앞에 숫자 2는 2 stage 를 의미 하며, 뒤에 숫자 10, 20 등은 최대 배기량을 의미 합니다. 예를들어 W2V20이라면 최대 배기량이 60Hz 일때 분당 200L인 펌프를 지칭합니다. W2V Series 의 각 모델별 차이는 분당 최대 배기량의 차이만 있습니다. 도달 진공도는 모두 동일 합니다.
진공펌프는 닫혀진 공간에 기체(공기)를 밖으로 이동시켜 줍니다. 이때 상압 (760 Torr)에서 100 Torr 구간까지 흡입되는 공기의 양이 많은 관계로 진공오일이 일부 배기구로 함께 배기되는 현상이 발생합니다. 이를 오일 미스트라고 부르며, 이런 현상을 막기 위해 오일 미스트 트랩을 사용합니다.
가장 좋은 방법은 배기구에 배기라인을 설치하여 닥트나 후드에 연결하거나 외부로 빼내는 방법입니다만, 펌프가 이동해야 하거나 배관을 설치하기 어려운 경우 오일미스트트랩을 사용합니다.
W2V series 는 오일 순환식 로터리 펌프입니다. 따라서 가장 중요한 것은 오일의 관리입니다.
펌프는 1700 rpm으로 회전하며 진공오일은 윤활 역할을 합니다. 따라서 자동차 엔진오일처럼 꾸준히 오인을 교체해주시지 않으면 펌프의 수명을 감소시키게 됩니다. 또한 사용시 파우더 등의 고체분말등이 유입될 가능성이 있다면 흡입구에 적합한 필터를 사용하셔야 하며, 수분 혹은 솔벤트 등을 사용하여 펌프내로 흡입될 수 있다면, 진공펌프 앞단에 cold trap을 사용하시거나 오일을 자주 교체하여야 합니다.
제일 먼저 하실일은 진공게이지의 센서를 펌프흡입구에 바로 연결하여 진공도를 측정합니다.
만약, 진공도가 정상적으로 나온다면, 배관 혹은 챔버내에 리크를 의심해 보아야 합니다. 만약 펌프에 직결하여 측정하였음에도 불구하고 진공도가 정확히 나오지 안는다면 영업부에 문의해주시기 바랍니다.
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